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產(chǎn)品中心MDP單晶和多晶硅片壽命測量?jì)x(MDPmap)
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MDPmap單晶和多晶硅片壽命測量?jì)x被設計成一個(gè)緊湊的臺式非接觸電學(xué)表征工具，用于離線(xiàn)生產(chǎn)控制或研發(fā)，在穩態(tài)或短脈沖激勵（μ-PCD）下，在一個(gè)寬的注入范圍內測量參數，如載流子壽命、光導率、電阻率和缺陷信息。自動(dòng)化的樣品識別和參數設置允許輕松適應各種不同的樣品，包括外延層和經(jīng)過(guò)不同制備階段的晶圓，從原生晶圓到高達95%的金屬化晶圓。
更新時(shí)間：2024-07-11
產(chǎn)品型號：MDPmap-1
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