?產(chǎn)品介紹

德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot（MDP晶錠在線(xiàn)面掃檢測儀--進(jìn)口少子壽命測試）系統是快速多晶硅晶錠電學(xué)參數特性測量工具。它是專(zhuān)為高通量工廠(chǎng)的單塊晶錠測試而研發(fā)的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時(shí)間里測量其四面。所有的圖譜(壽命，光電導率，電阻率)都可以同時(shí)進(jìn)行測量。

MDPinline ingot（MDP晶錠在線(xiàn)面掃檢測儀--進(jìn)口少子壽命測試）系統包括一個(gè)數據庫和相關(guān)的統計數據評估，可自動(dòng)確定準確的切割位置，以提高成品率。主要用于材料質(zhì)量監控，爐選擇和工藝改進(jìn)。

?性能

 --無(wú)接觸、無(wú)破壞的半導體特性

 --少數載流子壽命的檢測能力

 --*的靈敏度讓所有隱形缺陷可視化

 --自動(dòng)切割標準定義

 --獲取體材料性質(zhì)的穩態(tài)測量

 --*自動(dòng)化的內聯(lián)集成

 --對太陽(yáng)能級硅錠進(jìn)行掃描，1mm分辨率

 --測量時(shí)間:1分鐘內完成晶錠的面掃描，可自動(dòng)測量所有4個(gè)面

Automated determination of cut off criteria

?優(yōu)勢

 --保持著(zhù)*光伏晶圓廠(chǎng)多晶硅晶錠在線(xiàn)特性快速檢測的世界記錄。

 --在1分鐘內完成分辨率大于1mm成像掃描測試，同時(shí)可完成電導類(lèi)型轉變的空間分布掃描和電阻率的

 --線(xiàn)掃描測試?？蛻?hù)定義的切割標準可以傳輸到晶圓廠(chǎng)數據庫，該數據庫允許對下一代光伏晶圓廠(chǎng)進(jìn)行*自動(dòng)化的材料監控。

 --對爐料進(jìn)行質(zhì)量控制和爐況監測，并進(jìn)行失效分析。特殊的“underneath the surface”測量技術(shù)大大減少了表面重組造成的數據失真。

?技術(shù)參數